每經AI快訊，?華泰證券研報指出，MEMS基于微細加工技術和半導體工藝，將微傳感器、微執(zhí)行器和電子線路、微能源相結合，可實現(xiàn)微觀尺度的傳感和控制。其常用材料為硅基材料，在特殊應用場景下會采用聚合物基材料。MEMS產品的優(yōu)點包括微型高效、功能集成化、可批量生產等，缺點是新產品研發(fā)流程長、封裝難度高。目前MEMS已廣泛應用于消費電子、汽車工業(yè)、生物醫(yī)療等領域，在人形機器人領域中，MEMS麥克風、IMU和陣列式觸覺傳感器已獲得應用。我們認為，人形機器人對微型化、集成化和輕量化要求較高，與MEMS工藝的特點相契合，未來MEMS在人形機器人中的應用將進一步拓寬。